工藝仿真Victory Process

Victory Process是一個版圖驅動的通用1D、2D和3D工藝仿真器， 包括蝕刻和淀積、注入、擴散和氧化仿真功能。專利模型以及公共領域研究模型通過開放式建模接口可以集成到Victory Process。

軟件特點：

    1，快速的三維結構原型制作功能可對某些特別工藝問題進行深入的物理分析；

    2，具有一套完整的擴散模型：費米（Fermi）、fullcpl、單對和五路層流（ five-stream）模型；

    3，通過應力分析進行物理氧化仿真；

    4，極其精確快速的蒙特卡羅注入仿真；

    5，高效的多線程可在關鍵時間操作蒙特卡羅注入、擴散、氧化，以及物理刻蝕與淀積；

    6，尖端的多粒子流量模型可通過再淀積襯底材料來進行物理淀積與刻蝕；

    7，開放式結構可輕松引入并修改客戶定制的物理模型；

    8，與三維器件仿真器無縫鏈接，包括結構鏡像、自適應摻雜細化以及電極規(guī)格設定等；

    9，所用的 SUPREM 式語法簡單易學及用戶友好；

    10，兼容于Athena；

    11，在2D模式下便利的校準平臺和快速的流程測試（無需運行3D校準）；

    12，自動從一維、二維和三維模式切換。

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