工藝仿真Victory Process

Victory Process是一個版圖驅(qū)動的通用1D、2D和3D工藝仿真器， 包括蝕刻和淀積、注入、擴散和氧化仿真功能。專利模型以及公共領(lǐng)域研究模型通過開放式建模接口可以集成到Victory Process。

軟件特點：

    1，快速的三維結(jié)構(gòu)原型制作功能可對某些特別工藝問題進(jìn)行深入的物理分析；

    2，具有一套完整的擴散模型：費米（Fermi）、fullcpl、單對和五路層流（ five-stream）模型；

    3，通過應(yīng)力分析進(jìn)行物理氧化仿真；

    4，極其精確快速的蒙特卡羅注入仿真；

    5，高效的多線程可在關(guān)鍵時間操作蒙特卡羅注入、擴散、氧化，以及物理刻蝕與淀積；

    6，尖端的多粒子流量模型可通過再淀積襯底材料來進(jìn)行物理淀積與刻蝕；

    7，開放式結(jié)構(gòu)可輕松引入并修改客戶定制的物理模型；

    8，與三維器件仿真器無縫鏈接，包括結(jié)構(gòu)鏡像、自適應(yīng)摻雜細(xì)化以及電極規(guī)格設(shè)定等；

    9，所用的 SUPREM 式語法簡單易學(xué)及用戶友好；

    10，兼容于Athena；

    11，在2D模式下便利的校準(zhǔn)平臺和快速的流程測試（無需運行3D校準(zhǔn)）；

    12，自動從一維、二維和三維模式切換。

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